氣體質量流量計是基于熱擴散原理的流量儀表。即是利用流體流過發物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定比例關系。具體來說，該流量計的傳感器有兩只標準的RTD,一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，流體經過時，兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關系，該儀表就可以把這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。

    利用熱擴散原理制造的流量計有兩種設計方法：一是基于恒溫差原理；二是基于恒功率原理，基于共同的數據模型：P/?T=A+B(Q)N。其中：P---耗散功率，T---兩個傳感器之間的溫差，Q---質量流量，N---指數系數，A,B是與氣體的熱性能有關的系數。

    恒溫差原理：T保持不變，耗散功率P與流體的流量Q成指數函數遞增的關系。

    恒功率原理：耗散功率不變，溫度差?T與流體的流量Q成指數函數遞減的關系。

    氣體質量流量計廣泛用于鋼鐵廠、焦化廠、石油、化工、熱力、醫療、熱電廠、環保等行業。氣體質量流量計是真正的直接式質量流量計，用戶不必對壓力溫度進行補償。儀表無可動部件，壓力損失小，量程比寬，度高、可靠性高，安裝簡單，操作方便。

    影響流量計的因素有很多，簡單的說說常見的影響因素：

    （1）壓力

    在加氣機中使用的CMF測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠遠大于大氣壓。高壓改變了振動管的內應力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減小；氣體流經振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。

    （2）溫度

    用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮；介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。

    （3）流速

    壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質量流量正比，因此流速的補償可以轉化為流量變化的非線性因素進行補償。