氣體質量流量單位一般以sccm（StandardbicCentimeterperMinute,每分鐘標準毫升）和slm（StandardLiterperMinute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為：氣壓—101325Pa(760mmHg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之處。

　　對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數,可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。

　　需要注意的是,被質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位,不符合國內計量標準的常用的質量流量的國際單位（Kg/min）,但是它符合國際半導體協會制定的SEMI國際標準。

　　質量流量控制器為什么要滿足一個壓差?

　　很多客戶在使用質量流量控制器(MFC)過程中發現總不能很好的達到控制流量效果，很多愿意都是沒有達到MFC自生的一個壓差，目前市場上一般MFC的壓差都在50-300Kpa，這個意思就是進口和出口的壓力差小不能低于50Kpa，大不能超過300Kpa，因為MFC自帶電磁比例閥原因，如果壓差太小，氣體壓力就根本不能把比例閥頂開，氣體壓力過大就讓比例閥不能很好進行控制。所以客戶在使用中好先告知進、出口壓力，看看是否能滿足這個差壓50-300Kpa當然有些客戶是有低壓差的需求。