DS300簡介

      DS300壓力式氣體質量流量控制器是基于壓力檢測原理的質量流量控制器，流量控制采用壓電閥控制技術。產品具有零點漂移小，控制流量穩定、可靠，響應時間短、精度高的優點，此外還具有壓力不敏感功能，能夠適用較大的氣源壓力波動。產品采用全金屬密封，所有與氣體接觸的零件都經過EP處理，主要應用于半導體行業，如刻蝕設備上。

       DS300外觀圖

電源方式

      DS300壓力式氣體質量流量控制器（MFC）產品采用開關電源方式，可支持很寬的雙電源（±8～±16V DC）或單電源（+14～+28V DC），客戶可以根據需要自行選擇。

電氣接頭

        DS300壓力式MFC產品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽接頭（9針或15針），客戶可以根據需要自行選擇。

    圖1  9針D型陽接頭連接圖  

       圖2  15針D型陽接頭連接圖

通訊協議

      DS300壓力式MFC產品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協議，客戶可以根據需要自行選擇，其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應的適配器與電腦進行連接。

             圖3  DeviceNet連接圖    

       圖4  RS485連接圖