氣體質量流量計行業發展情況

　　氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表。即利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。

　　*、氣體質量流量計行業發展

　　1.熱式氣體質量流量計以及應用行業

　　本類儀表適用于測量小流量微小口徑的清潔氣體，應用于精細制造工藝和微小流量采樣控制等。 半導體工業應用半導體工業曾是熱式質量流量計主要服務對象，熱式質量流量計是應承半導體業需求的推動而得到蓬勃發展，應用于擴散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射等工藝設備中，測量和控制超凈氣體或腐蝕/有害氣體流量，如氫、氨、氟化氫、三氟化氮、氧化氮、砷化三氫、磷化氫。

　　2.熱消散效應侵入式熱式氣體質量流量計，該類儀表應用于較大管徑，除測量潔凈氣體外還可測量存在一些塵粒的粗放氣體，如煙道氣等。

　　a.取暖通風空調業 在國外暖通業也是熱式氣體流量計的主要服務對象，包括有無流通的監控和通風量的測量控制。

　　b.公用事業給水和污水治理應用于給水工業的原水水處理殺菌凈化過程中氯氣、臭氧和氨氣等流量測量和控制;污水治理;曝氣凈化過程中空氣和處理過程中產生氣體的測量控制。

　　c.能源工業應用于測量天然氣、鍋爐通風鼓風空氣、儲罐管線排氣等。在煤粉/空氣配比過程中，測量和控制空氣流量。

　　d.氣體連續排放監控環境保護要求控制鍋爐燃燒煙道氣中S02和NO的排放總量，由流量儀表和分析儀器等組成CEM系統進行測量。

　　第三、氣體質量流量計市場潛力大

　　氣體質量流量計應用于氣體的測量是呈現較快增長的重要因素。在技術上認可氣體質量流量計儀表適用于氣體的生產、測量、輸送、倉儲、分配和zui終用戶消費的測量，開創出一個新的市場空間。從壓縮天然氣壓縮站到零售路邊加氣的發送系統每一個測量點，用直接測量質量流量的在測量技術上的優點超過其他流量儀表，從而使這一領域的用量驟增。